硅片清洗机用水点水质监控报警装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201320569500.8
IPC分类号：G01N27/08
申请日期：
2013-09-13
申请人：
江苏晶鼎电子材料有限公司

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著录项信息

专利名称	硅片清洗机用水点水质监控报警装置
申请号	CN201320569500.8	申请日期	2013-09-13
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/08 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/06 液体的电阻（关于电分析的入G01N 27/2） G01N27/08 连续流动的	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;0;8查看分类表>
申请人	江苏晶鼎电子材料有限公司	申请人地址	江苏省宿迁市泗阳县东开发区广东路18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏晶鼎电子材料有限公司	当前权利人	江苏晶鼎电子材料有限公司
发明人	陈前兆;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;高超
代理机构	淮安市科文知识产权事务所	代理人	谢观素

摘要

本实用新型公开了一种硅片清洗机用水点水质监控报警装置，包括清洗机的机壳，进水管贯穿机壳的顶部进入机体内部供水，所述进水管的侧壁上设有一个旁通凸台，电阻率测试仪的探针插入所述旁通凸台内固定，所述电阻率测试仪的显示面板固定在机壳的侧壁上。本实用新型在清洗机的用水点对水质进行实时监控，到达用水点的水质若不符合用水标准，报警器会发出声光报警，提醒操作人员更换清洗用水，以防不合标准的清洗用水污染硅片，监控准确确保清洗用水达标，提高了日常生产的效率，大大降低清洗的废品率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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