减压干燥装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200510129603.2
IPC分类号：G03F7/38;G03F7/26;G03F7/20
申请日期：
2005-12-16
申请人：
大日本网目版制造株式会社

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	减压干燥装置
申请号	CN200510129603.2	申请日期	2005-12-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2006-09-20	公开/公告号	CN1834791
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/38 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/26 感光材料的处理及其设备（G03F 7/12至G03F 7/24优先）〔3，5〕 G03F7/38 去除影像之前的处理，例如，预烘干〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;3;8;;;G;0;3;F;7;/;2;6;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	大日本网目版制造株式会社	申请人地址	日本京都府变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大日本网目版制造株式会社	当前权利人	大日本网目版制造株式会社
发明人	柿村崇;北村嘉孝
代理机构	隆天国际知识产权代理有限公司	代理人	高龙鑫;王玉双

摘要

本发明的目的在于提供一种能够防止光致抗蚀剂等薄膜的成分附着在排气泵中的减压干燥装置。该减压干燥装置具备覆盖基板(W)的周围的腔室(10)、排气泵(50)、第一开闭阀(41)、第二开闭阀(42)、第三开闭阀(43)。通过打开第一开闭阀(41)对腔室内(10)进行排气，对形成在基板(W)的主面上的光致抗蚀剂进行减压干燥后，关闭第一开闭阀(41)而停止前述腔室(10)的排气。接着，通过打开第二开闭阀(42)向排气泵(50)供给惰性气体的同时，打开第三开闭阀(43)而向前述腔室(10)内供给惰性气体。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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