热超声倒装键合机换能器监测和分析系统

发明专利无效专利

申请号：
CN200610031670.5
IPC分类号：B23K20/10;B29C65/08;H01L21/607
申请日期：
2006-05-18
申请人：
中南大学

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法律信息

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著录项信息

专利名称	热超声倒装键合机换能器监测和分析系统
申请号	CN200610031670.5	申请日期	2006-05-18
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2007-11-21	公开/公告号	CN101073851
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23K20/10 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23K 钎焊或脱焊；焊接；用钎焊或焊接方法包覆或镀敷；局部加热切割，如火焰切割；用激光束加工（用金属的挤压来制造金属包覆产品入B21C 23/22；用铸造方法制造衬套或包覆层入B22D 19/08；用浸入方式的铸造入B22D 23/04；用烧结金属粉末制造复合层入B22F 7/00；机床上的仿形加工或控制装置入B23Q；不包含在其他类目中的包覆金属或金属包覆材料入C23C；燃烧器入F23D） B23K20/00 利用冲击或其他压力的非电焊接，用或不用加热，例如包覆或镀敷〔3〕 B23K20/10 利用振动，例如超声波焊接〔3〕	IPC分类号	B;2;3;K;2;0;/;1;0;;;B;2;9;C;6;5;/;0;8;;;H;0;1;L;2;1;/;6;0;7查看分类表>
申请人	中南大学	申请人地址	湖南省长沙市麓山南路1号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中南大学	当前权利人	中南大学
发明人	王福亮;韩雷;钟掘;广明安
代理机构	中南大学专利中心	代理人	胡燕瑜

摘要

热超声倒装键合机换能器监测和分析系统，包括超声信号发出器，换能器系统，本发明在超声信号器和换能器之间接入电流传感器和电压传感器，将换能器系统的驱动电流和电压信号提取出来，再将电流、电压信号经数据采集系统进入计算机，计算输入功率和输出阻抗的有效值，再根据有效值曲线计算得到键合过程中换能器系统的平均输入功率，得到键合强度与输入功率之间的关系，实现热超声倒装键合强度的在线监测。换能器系统功率信号容易获得和实现，可定量反映键合强度，实现强度的在线监测，并不影响换能器系统的性能。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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