一种扩散用的喷淋管及扩散炉

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201821882869.3
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/223;H01L31/18
申请日期：
2018-11-15
申请人：
盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种扩散用的喷淋管及扩散炉
申请号	CN201821882869.3	申请日期	2018-11-15
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2;3;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司	申请人地址	江苏省盐城市阜宁县经济开发区协鑫大道88号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司	当前权利人	阜宁阿特斯阳光电力科技有限公司,阿特斯阳光电力集团股份有限公司
发明人	刘志强;严健;袁中存;费正洪
代理机构	北京品源专利代理有限公司	代理人	胡彬

摘要

本实用新型公开了一种扩散用的喷淋管及扩散炉，属于太阳能电池制备技术领域。该扩散用的喷淋管一端封闭，另一端为进气端，与进气装置连通，所述喷淋管包括管体，所述管体沿气体流动方向设有至少两个喷淋段，每个所述喷淋段设置有一个或至少两个喷淋孔总成，每个所述喷淋孔总成包括一个喷淋孔或位于同一截面的至少两个喷淋孔。该扩散炉包括上述喷淋管。本实用新型提供的喷淋管通过设置多组喷淋段、改变不同喷淋段上的喷淋孔数目的方式实现炉内气体的均匀扩散，保证了硅片方阻的均匀性，提高了太阳能电池片的质量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供