一种硅片自动涂源生产线

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023300900.8
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/677;B05C13/02
申请日期：
2020-12-31
申请人：
青岛金汇源电子有限公司

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著录项信息

专利名称	一种硅片自动涂源生产线
申请号	CN202023300900.8	申请日期	2020-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7;7;;;B;0;5;C;1;3;/;0;2查看分类表>
申请人	青岛金汇源电子有限公司	申请人地址	山东省青岛市黄岛区滨海大道南山川路东（黄岛区委党校）变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	青岛金汇源电子有限公司	当前权利人	青岛金汇源电子有限公司
发明人	李德鹏;张光展;程文娟;徐海涛;单志辉;逄超;耿仁继
代理机构	杭州润涞知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	黎慧华

摘要

本实用新型公开了一种硅片自动涂源生产线，包括输送机构、涂源机构及烘干机构，涂源机构包括气缸、刷辊，气缸固定在涂源机构上方，气缸活塞杆与刷辊固定连接，输送机构位于涂源机构前方，输送机构上方放有硅片固定板，涂源机构右侧设有烘干机构，烘干机构包括从动齿、承重板、链条、主动齿，从动齿、主动齿均设有两个，两个主动齿之间通过第一连接杆连接，两个从动齿通过第二连接杆连接，主动齿远离第一连接杆一侧与第二电机输出轴固定连接，从动齿位于烘干机构上方，从动齿和主动齿表面设有链条，链条上固定设有固定片，固定片上设有承重板。本实用新型实现了硅片的自动涂源及烘干，提高了生产效率，保证了产品质量，结构简单，实用性强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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