一种薄膜堆叠检测装置

1.一种薄膜堆叠检测装置，其特征在于，包括：安装底板、浮动辊轮组件和调节惰辊组件，其中，所述浮动辊轮组件包括摆动杆和浮动辊轮，所述摆动杆通过旋转轴转动安装于所述安装底板上，所述浮动辊轮安装于所述摆动杆的下端，所述调节惰辊组件包括安装于所述安装底板上，且与所述浮动辊轮平行设置的惰轮，所述惰轮与所述浮动辊轮之间具有穿过薄膜的间隙，所述薄膜堆叠检测装置还包括靠近所述摆动杆的上端安装于所述安装底板上，用于感应在所述惰轮与所述浮动辊轮之间通过薄膜时所述摆动杆产生的位移的电涡流传感器。
2.根据权利要求1所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述浮动辊轮组件还包括安装于所述安装底板上的安装基板，所述摆动杆通过所述旋转轴转动安装于所述安装基板上，所述电涡流传感器通过感应器安装件安装于所述安装基板上。
3.根据权利要求2所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述浮动辊轮组件还包括安装于所述感应器安装件上、用于对所述摆动杆限位的调节档杆螺栓。
4.根据权利要求2所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述摆动杆通过轴承和压块安装于所述旋转轴上。
5.根据权利要求2所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述浮动辊轮组件还包括设置于所述安装基板上的弹簧支柱，以及用于连接所述弹簧支柱和所述摆动杆的弹簧。
6.根据权利要求2所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述安装基板与所述安装底板之间设置有用于调整所述浮动辊轮的调整垫片。
7.根据权利要求2所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述薄膜堆叠检测装置还包括安装于所述安装底板上的气缸组件和凸轮，所述凸轮的输入端与所述气缸组件的输出端连接，输出端与所述摆动杆连接。
8.根据权利要求1所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述调节惰辊组件还包括安装于所述安装底板上的惰轮安装板、安装于所述惰轮安装板上的安装支座，所述惰轮通过螺丝安装于所述安装支座上，所述安装支座上设置有与所述螺丝相对应的螺丝孔。
9.根据权利要求8所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述调节惰辊组件还包括于所述安装支座下方设置于所述惰轮安装板上的至少一调节块。
10.根据权利要求1至9任意一项所述的薄膜堆叠检测装置，其特征在于，所述浮动辊轮与所述摆动杆的连接处于所述旋转轴的距离L1是所述旋转轴与所述电涡流传感器的距离L2的一半。

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