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机械手臂

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201822060140.4
  • IPC分类号:H01L21/673;H01L21/687
  • 申请日期:
    2018-12-07
  • 申请人:
    德淮半导体有限公司
著录项信息
专利名称机械手臂
申请号CN201822060140.4申请日期2018-12-07
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/673IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7;3;;;H;0;1;L;2;1;/;6;8;7查看分类表>
申请人德淮半导体有限公司申请人地址
江苏省淮安市淮阴区长江东路599号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人德淮半导体有限公司当前权利人德淮半导体有限公司
发明人朱小凡;张文福;刘家桦;叶日铨
代理机构上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙)代理人孙佳胤;陈丽丽
摘要
本实用新型提供的机械手臂,包括驱动器、控制器、承载臂和压力传感器;所述承载臂包括相对分布的第一末端和第二末端,所述驱动器与所述第一末端连接,用于驱动所述承载臂做直线运动;所述压力传感器设置于所述承载臂的运动方向上、并与所述第二末端相对,用于检测所述第二末端施加于其上的压力;所述控制器连接所述驱动器与所述压力传感器,用于判断所述压力传感器检测到的实际压力是否等于参考压力,若是,则获取所述承载臂当前运动的实际距离,并以所述实际距离和参考距离之间的差值作为所述承载臂运动的补偿值。本实用新型降低了机械手臂的校准难度,节省了校准时间。

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