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真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201610982195.3
  • IPC分类号:C23C14/35;C23C14/56
  • 申请日期:
    2016-11-08
  • 申请人:
    重庆物华天宝镀膜科技有限公司
著录项信息
专利名称真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置
申请号CN201610982195.3申请日期2016-11-08
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2017-02-15公开/公告号CN106399961A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人重庆物华天宝镀膜科技有限公司申请人地址
重庆市铜梁县铜梁工业园区产业大道69号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人重庆物华天宝镀膜科技有限公司当前权利人重庆物华天宝镀膜科技有限公司
发明人邓君;崔伏球
代理机构重庆市前沿专利事务所(普通合伙)代理人郭云
摘要
本发明公开了一种真空磁控溅射镀膜线真空保压箱过渡室快速换气装置,包括保压箱本体,所述保压箱本体的前段为过度室,在所述保压箱本体的过度室的顶面分布有至少两个进气口,在进气口上安装空气管,所述空气管上设置有空气自动流量调节阀,进气筒的一端封闭,另一端开口,所述空气管与进气筒的开口端相连,所述进气筒的筒壁上分布有若干进气孔,所述进气筒内周向分布有若干过滤筒,所述过滤筒由过滤棉围成,所述过滤筒沿进气筒的轴线延伸;所述保压箱本体的侧面设置有抽气管,所述抽气管与抽气泵相连。能实现快速换气的同时提高玻璃镀膜的质量。

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