石英管扩散炉

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201420279431.1
IPC分类号：C30B31/06;H01L31/18
申请日期：
2014-05-29
申请人：
江阴鑫辉太阳能有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	石英管扩散炉
申请号	CN201420279431.1	申请日期	2014-05-29
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B31/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B31/00 单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之扩散或掺杂工艺；其所用装置〔3，5〕 C30B31/06 同气态扩散材料接触的（C30B 31/18优先）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;3;1;/;0;6;;;H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人	江阴鑫辉太阳能有限公司	申请人地址	江苏省无锡市江阴市新桥镇工业园区变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江阴鑫辉太阳能有限公司	当前权利人	江阴鑫辉太阳能有限公司
发明人	严义博;张晶;张兴德;周平;曹允波
代理机构	江阴市同盛专利事务所（普通合伙）	代理人	唐纫兰;曾丹

摘要

本实用新型涉及一种石英管扩散炉，它包括横置的圆柱形扩散炉炉体（1），其特征在于所述扩散炉炉体（1）的尾部中间连接有进气管（2），进气管（2）的外端设置有进气管球头（2.1），所述扩散炉炉体（1）的尾部下部设置有排废管（3）以及测温管（4），排废管（3）与测温管（4）的中心线分别偏离扩散炉炉体（1）竖向中心线22mm以及25mm，排废管（3）的外端设置有排废管球头（3.1），测温管（4）的外端设置有测温管球头（4.1）。该石英管扩散炉具有能够防止腐蚀，减少维护时间，提高设备利用率的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供