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一种光透过率调节装置及照明系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201811068730.X
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2018-09-13
  • 申请人:
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称一种光透过率调节装置及照明系统
申请号CN201811068730.X申请日期2018-09-13
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日2020-03-20公开/公告号CN110895386A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司申请人地址
上海市浦东新区自由贸易试验区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人章富平;王彩红;湛宾洲;郁健;周伟
代理机构北京品源专利代理有限公司代理人孟金喆
摘要
本发明公开了一种光透过率调节装置及照明系统。所述光透过率调节装置包括调节本体以及与所述调节本体连接的驱动部;所述驱动部用于带动所述调节本体沿第一方向或所述第一方向的反方向运动;所述调节本体包括基板以及至少一个光调节单元,所述光调节单元包括形成于所述基板上且等间距分布的多个凹槽,所述凹槽沿所述第一方向延伸;被调节光斑落于所述光调节单元所在区域内;沿所述第一方向,所述凹槽的宽度逐渐增大或减小。本发明实施例提供的技术方案,使得光透过率调节装置的结构简单,成本低,实现了连续光透过率调节,能够以较小空间尺寸的调节本体实现较高的光透过率调节分辨率。

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