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半导体工艺设备中物料移动控制的方法及系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201310752193.1
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2013-12-31
  • 申请人:
    北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
著录项信息
专利名称半导体工艺设备中物料移动控制的方法及系统
申请号CN201310752193.1申请日期2013-12-31
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2015-07-01公开/公告号CN104752268A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司申请人地址
北京市北京经济技术开发区文昌大道8号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京北方华创微电子装备有限公司当前权利人北京北方华创微电子装备有限公司
发明人崔亚欣
代理机构广州华进联合专利商标代理有限公司代理人陈振
摘要
本发明公开了一种半导体工艺设备中物料移动控制的方法及系统。其中该方法包括如下步骤:S100,当可放置在待定腔室中任意槽位上的晶圆在机械手上时,判断待定腔室中是否有空闲槽位,若是,则判定待定腔室是目标腔室;若否,则执行步骤S200进行进一步判断;S200,判断工艺设备中是否有空闲机械手,若否,则判定待定腔室不是目标腔室;若是,则执行步骤S300进行进一步判断;S300,判断待定腔室中是否存在可用槽位,可用槽位上的晶圆要进行的下一工艺步骤对应的所有可能腔室都能被空闲机械手访问,若是,则判定待定腔室是目标腔室,若否,则判定待定腔室不是目标腔室。其可准确确定待定腔室能否作为目标腔室,从而提高半导体加工效率,降低加工成本。

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