紫外光学元件激光损伤阈值的探测方法及其装置

发明专利有效专利

申请号：
CN200810007917.9
IPC分类号：G01N21/64;G01N21/958
申请日期：
2008-02-19
申请人：
中国原子能科学研究院

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著录项信息

专利名称	紫外光学元件激光损伤阈值的探测方法及其装置
申请号	CN200810007917.9	申请日期	2008-02-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2008-07-23	公开/公告号	CN101226148
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N21/64 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N21/00 利用光学手段，即利用红外光、可见光；或紫外光来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 19/00优先） G01N21/62 所测试的材料在其中被激发，因之引起材料发光或入射光的波长发生变化的系统〔3〕 G01N21/63 光学激发的〔3〕 G01N21/64 荧光；磷光〔3〕	IPC分类号	G;0;1;N;2;1;/;6;4;;;G;0;1;N;2;1;/;9;5;8查看分类表>
申请人	中国原子能科学研究院	申请人地址	北京市275信箱65分箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国原子能科学研究院	当前权利人	中国原子能科学研究院
发明人	高智星;汤秀章;向益淮
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明提供的紫外光学元件激光损伤阈值的探测方法及其装置，利用激光器发出的激光辐照在被测紫外光学元件表面所产生的荧光，观测紫外光学元件表面的形貌变化，该激光器是KrF激光器，通过观测紫外光学元件表面荧光强度分布的畸变来观测紫外光学元件表面的形貌变化。该探测方法及装置可直观观测损伤的产生和发展过程，适于各类紫外光学元件表面损伤的在线测试，且灵敏度较高。

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