具有载盘冷却功能的镀膜系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201510010395.8
IPC分类号：C23C14/56;C23C14/50;C23C14/34
申请日期：
2015-01-09
申请人：
凌嘉科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	具有载盘冷却功能的镀膜系统
申请号	CN201510010395.8	申请日期	2015-01-09
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-08-05	公开/公告号	CN104818469A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/56 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/56 连续镀覆的专用设备；维持真空的装置，例如真空锁定器〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;5;6;;;C;2;3;C;1;4;/;5;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	凌嘉科技股份有限公司	申请人地址	中国台湾台中市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	凌嘉科技股份有限公司	当前权利人	凌嘉科技股份有限公司
发明人	叶承朋;苏晖家;叶崇宇;张倧伟;黄一原;黄琬榆;卢木森
代理机构	北京泰吉知识产权代理有限公司	代理人	张雅军;顾以中

摘要

一种具有载盘冷却功能的镀膜系统，包含一包括一盘本体与一填置于盘本体中的相变化物质的载盘、一镀膜站、一回流装置及一冷却装置。镀膜站包括一入口端与一出口端，载盘能自入口端进入镀膜站中以进行一镀膜制程。回流装置包括一设置在镀膜站外的传送单元。相变化物质能自盘本体吸收一在镀膜制程中所累积的热能，以作为至少部分的相变化物质自一固态熔融成一液态时所需的潜热，且相变化物质的熔点为介于18℃至95℃间。冷却装置能自相变化物质吸收热能，以令至少部分的相变化物质自液态凝固成固态。借由载盘的改良及相变化物质本身所需的熔解潜热以提升镀膜质量，另外利用冷却装置解决镀膜系统中的散热问题。

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