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高纯氨钢瓶/槽车残液批量处理系统及方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810914517.X
  • IPC分类号:F17D1/04F17D3/01
  • 申请日期:
    2018-08-13
  • 申请人:
    海宁市英德赛电子有限公司
著录项信息
专利名称高纯氨钢瓶/槽车残液批量处理系统及方法
申请号CN201810914517.X申请日期2018-08-13
法律状态暂无申报国家暂无
公开/公告日2018-11-23公开/公告号CN108870077A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号F17D1/04IPC分类号F17D1/04;F17D3/01查看分类表>
申请人海宁市英德赛电子有限公司申请人地址
浙江省嘉兴市海宁市尖山新区安江路*** 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人浙江英德赛半导体材料股份有限公司当前权利人浙江英德赛半导体材料股份有限公司
发明人赵晓兰;王龙;潘佳伟;丁高松;李杰
代理机构嘉兴海创专利代理事务所(普通合伙)代理人郑文涛
摘要
本发明提供了一种高纯氨钢瓶/槽车残液批量处理系统及方法,包括残液回收管路、尾气处理管路、高纯氨气源管路、真空管路、分析管路、氮气管路、氦气管路、气相总管、液相总管,真空管路、分析管路、氮气管路、氦气管路、尾气处理管路、高纯氨气源管路均与气相总管相连通,气相总管通过三通接头连接出若干个气相分管,气相分管上设置有气相分阀门且气相分管端口与钢瓶/槽车的气相接口相连,所述残液回收管路与液相总管相连,液相总管经三通接头连接出若干个液相分管,液相分管上设置有液相分阀门且液相分管端口与钢瓶/槽车的液相接口相连,本发明可以对多辆槽车或多个钢瓶实现批次处理,采用自动化控制系统处理效率高,安全环保。

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