一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器

发明专利无效专利

申请号：
CN201210309221.8
IPC分类号：C30B15/14;C30B29/06
申请日期：
2012-08-27
申请人：
上海杰姆斯电子材料有限公司

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专利名称	一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器
申请号	CN201210309221.8	申请日期	2012-08-27
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-03-12	公开/公告号	CN103628129A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B15/14 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B15/00 熔融液提拉法的单晶生长，例如Czochralski法（在保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕 C30B15/14 熔融液或已结晶化材料的加热〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;5;/;1;4;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	上海杰姆斯电子材料有限公司	申请人地址	上海市普陀区洲中环中心金沙江路1628弄5号1001室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海杰姆斯电子材料有限公司	当前权利人	上海杰姆斯电子材料有限公司
发明人	陈昌林;李德建;陈锐;陈剑春;付雁清;薛东;李福龙
代理机构	北京元中知识产权代理有限责任公司	代理人	另婧

摘要

本发明涉及一种直拉法制备单晶硅所使用的石墨加热器，包括形成加热系统的加热器本体（1）、设置在加热器本体（1）侧壁的侧壁发热体（2）、以及设置在加热器本体（1）底部用于支撑石墨坩埚的底部支撑脚（3），所述的侧壁发热体（2）向下和向内延伸形成弧形的底部发热体（4）。本发明所述石墨加热器设计上引进新型发热布局理念，使得在维持传统加热器性能的基础下具有热态分布合理、热能利用率高、拉制大尺寸单晶成品率高等特点。

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