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一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201922238184.6
  • IPC分类号:H01J37/20
  • 申请日期:
    2019-12-13
  • 申请人:
    苏州合志杰新材料技术有限公司
著录项信息
专利名称一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构
申请号CN201922238184.6申请日期2019-12-13
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01J37/20IPC分类号H;0;1;J;3;7;/;2;0查看分类表>
申请人苏州合志杰新材料技术有限公司申请人地址
江苏省苏州市常熟高新技术产业开发区香江路58号3幢 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州合志杰新材料技术有限公司当前权利人苏州合志杰新材料技术有限公司
发明人王成杰
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本实用新型公开了一种电极板等离子刻蚀定向夹持机构,包括底座,底座的两个邻边安装有固定夹板,固定夹板包括一体成型连接的底板和顶板,固定夹板上安装有柔性夹持组件,柔性夹持组件包括定位气囊和压紧气囊,定位气囊连接底板的侧壁上,压紧气囊连接顶板的底部边缘,定位气囊和压紧气囊间通过气管连通,定位气囊远离底板的侧壁上固定安装定位板,定位气囊内腔套接复位弹簧,底座的另外两个邻边顶部安装活动夹板。电极板放在底座上,电极板邻边贴合定位板进行定位,通过活动夹板挤压电极板另两个邻边,定位气囊压缩,压紧气囊膨胀压紧在电极板边缘顶部,便于将电极板夹紧,且定位气囊和压紧气囊均为柔性组件,避免夹坏电极板。

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