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电磁波检测器以及气体分析装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201680007199.8
  • IPC分类号:G01J1/02;G01N21/41;H01L35/32
  • 申请日期:
    2016-01-04
  • 申请人:
    三菱电机株式会社
著录项信息
专利名称电磁波检测器以及气体分析装置
申请号CN201680007199.8申请日期2016-01-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-09-26公开/公告号CN107209057A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01J1/02IPC分类号G;0;1;J;1;/;0;2;;;G;0;1;N;2;1;/;4;1;;;H;0;1;L;3;5;/;3;2查看分类表>
申请人三菱电机株式会社申请人地址
日本东京 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人三菱电机株式会社当前权利人三菱电机株式会社
发明人藤泽大介;小川新平
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所代理人张丽
摘要
本发明涉及一种电磁波检测器,具备具有通过支撑脚中被空保持于基板上的受光部的第1电磁波传感器、具有通过与第1电磁波传感器的支撑脚相同构造的支撑脚被中空保持于基板上的受光部并且与第1电磁波传感器邻接设置的第2电磁波传感器,该电磁波检测器的特征在于,第1电磁波传感器的受光部具有反射膜,第2电磁波传感器的受光部具有检测预定波长区域或者预定偏振的光的电磁波吸收体,输出第2电磁波传感器的输出与第1电磁波传感器的输出的差分。

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