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三氯氢硅尾气吸收塔

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201020223173.7
  • IPC分类号:B01D53/18;B01D45/12;C01B33/107
  • 申请日期:
    2010-06-10
  • 申请人:
    南京中锗科技股份有限公司
著录项信息
专利名称三氯氢硅尾气吸收塔
申请号CN201020223173.7申请日期2010-06-10
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B01D53/18IPC分类号B;0;1;D;5;3;/;1;8;;;B;0;1;D;4;5;/;1;2;;;C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人南京中锗科技股份有限公司申请人地址
江苏省南京市溧水县开发区中兴东路9号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中锗科技有限公司当前权利人中锗科技有限公司
发明人冯先达;黄和明;夏建保
代理机构南京知识律师事务所代理人张苏沛
摘要
本实用新型公开了一种三氯氢硅尾气吸收塔,它包括:第一级废气和水旋流混合洗涤-粗洗涤间01,第二级喷淋洗涤间02,第三级喷淋洗涤间03,喷淋填料洗涤-精洗涤间04,精洗涤间04内部设有离心式脱水装置05,外部通过管道与防腐离心风机06相连。三氯氢硅尾气经过进气口与水旋流混合后处理了大部分尾气,随后尾气又经过两级逆向喷淋和填料层的处理,再经离心式气水分离器将气、水分离后,排放达标的气体由离心式风机排至室外。本实用新型装置适用于大排量的尾气处理,方便可靠,效果显著,适合流水作业,且成本低廉。

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