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用于改进显微蚀刻的对齐和覆盖的系统和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200580018208.5
IPC分类号：G03F9/00
申请日期：
2005-06-02
申请人：
得克萨斯州大学系统董事会

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权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于改进显微蚀刻的对齐和覆盖的系统和方法
申请号	CN200580018208.5	申请日期	2005-06-02
法律状态	放弃专利权	申报国家	中国
公开/公告日	2009-03-04	公开/公告号	CN101379435
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F9/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F9/00 原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位，例如自动地（G03F 7/22优先；照相蒙片的制备入G03F 1/00；在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00）〔4〕	IPC分类号	G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人	得克萨斯州大学系统董事会	申请人地址	美国得克萨斯州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	得克萨斯州大学系统董事会	当前权利人	得克萨斯州大学系统董事会
发明人	A·谢尔拉;S·V·斯利尼瓦森;K·阿杜斯米利
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	陈炜

摘要

本发明提供一种用于确定要施加于衬底的力以使衬底变形、并校正覆盖未对齐的方法。

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