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浆料冷却设备和具有该浆料冷却设备的浆料供给系统

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201810679036.5
  • IPC分类号:B24B57/02;B28D7/00
  • 申请日期:
    2018-06-27
  • 申请人:
    爱思开矽得荣株式会社
著录项信息
专利名称浆料冷却设备和具有该浆料冷却设备的浆料供给系统
申请号CN201810679036.5申请日期2018-06-27
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2019-07-16公开/公告号CN110014371A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B24B57/02IPC分类号B;2;4;B;5;7;/;0;2;;;B;2;8;D;7;/;0;0查看分类表>
申请人爱思开矽得荣株式会社申请人地址
韩国庆尚北道 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人爱思开矽得荣株式会社当前权利人爱思开矽得荣株式会社
发明人李相昊
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人朱立鸣
摘要
根据本发明,提供了一种浆料供给系统,包括:浆料混合单元,该浆料混合单元构造成对浆料进行混合;浆料供给单元,在浆料混合单元中混合好的浆料被储存在所述浆料供给单元中,并且浆料供给单元构造成将浆料供给至抛光装置;管道,该管道构造成连接浆料混合单元与浆料供给单元;以及浆料冷却单元,该浆料冷却单元安装在被构造成连接浆料供给单元与抛光装置的管道中的至少一个管道之中,以冷却混合浆料。

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