一种纳米碳化锰材料的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202011326668.7
IPC分类号：C23C16/32;C23C16/455;C23C16/52
申请日期：
2020-11-24
申请人：
江南大学

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著录项信息

专利名称	一种纳米碳化锰材料的制备方法
申请号	CN202011326668.7	申请日期	2020-11-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2021-03-05	公开/公告号	CN112442675A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C16/32 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C16/00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积（CVD）工艺（反应溅射或真空蒸发入C23C 14/00）〔4〕 C23C16/22 以沉积金属材料以外之无机材料为特征的〔4〕 C23C16/30 沉积化合物、混合物或固溶体，例如硼化物、碳化物、氮化物〔4〕 C23C16/32 碳化物〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;6;/;3;2;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;2查看分类表>
申请人	江南大学	申请人地址	江苏省无锡市滨湖区蠡湖大道1800号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江南大学	当前权利人	江南大学
发明人	杜立永;何冬梅;丁玉强
代理机构	哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司	代理人	彭素琴

摘要

本发明公开了一种纳米碳化锰材料的制备方法，属于纳米材料领域。本发明方法包括以下步骤：将衬底置于热原子层沉积设备反应腔中，真空条件下以脉冲形式向反应腔中通入气相锰源进行沉积；吹扫后将碳源以脉冲形式通入反应腔，与沉积在衬底上的锰源进行单原子反应，得到单原子层的碳化锰材料，所述锰源为式1～2结构的锰源，碳源为甲醛、乙醛、丙醛或丁醛的一种；再次吹扫，完成一个ALD循环，将上述循环过程重复多次，即可得到一定厚度的纳米碳化锰材料。本发明采用了式1～2结构的锰源与碳源组合，将其进一步应用在原子层沉积技术中，使其能够在纳米级的衬底上沉积形成保型性较好且电阻率低的含碳化锰沉积层。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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