一种恒定电场应力偏压温度不稳定性的测试方法和装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201911085878.9
IPC分类号：G01R31/26
申请日期：
2019-11-08
申请人：
中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））

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专利名称	一种恒定电场应力偏压温度不稳定性的测试方法和装置
申请号	CN201911085878.9	申请日期	2019-11-08
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2020-04-10	公开/公告号	CN110988639A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R31/26 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R31/00 电性能的测试装置；电故障的探测装置；以所进行的测试在其他位置未提供为特征的电测试装置（在制造过程中测试或测量半导体或固体器件入H01L 21/66；线路传输系统的测试入H04B 3/46） G01R31/26 单个半导体器件的测试（在制造或处理过程中的测试或测量入H01L 21/66；光伏器件的测试入H02S 50/10）〔2，2014.01〕	IPC分类号	G;0;1;R;3;1;/;2;6查看分类表>
申请人	中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））	申请人地址	广东省广州市增城区朱村街朱村大道西78号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））	当前权利人	中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））
发明人	高汭;雷登云;林晓玲;章晓文;贺致远;陈义强
代理机构	广州华进联合专利商标代理有限公司	代理人	石慧

摘要

本发明涉及一种恒定电场应力偏压温度不稳定性的测试方法和装置。所述方法包括：根据预设时长，对待测器件施加应力电压；在对所述待测器件施加应力电压过程结束后，对所述待测器件施加扫描电压，并实时采集所述待测器件的漏电流和所述扫描电压，根据所述扫描电压和所述漏电流确定所述待测器件的当前阈值电压；根据所述当前阈值电压以及初始阈值电压，确定所述待测器件的当前阈值漂移量；判断施加所述应力电压的次数是否达到预设次数；当判定施加所述应力电压的次数小于所述预设次数时，根据在所述当前阈值漂移量调整所述应力电压；对所述待测器件施加调整后的所述应力电压并维持所述预设时长，然后返回至对所述待测器件施加所述扫描电压的步骤。

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