基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201110174395.3
IPC分类号：G01J9/02
申请日期：
2011-06-24
申请人：
北京理工大学

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著录项信息

专利名称	基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测装置
申请号	CN201110174395.3	申请日期	2011-06-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-25	公开/公告号	CN102607719A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J9/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J9/00 测量光学相位差；测定相干性的程度；测量光学波长（光谱测定法入G01J 3/00）〔3〕 G01J9/02 采用干涉法〔3〕	IPC分类号	G;0;1;J;9;/;0;2查看分类表>
申请人	北京理工大学	申请人地址	北京市海淀区中关村南大街5号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	北京理工大学	当前权利人	北京理工大学
发明人	李艳秋;汪海;刘克
代理机构	北京理工大学专利中心	代理人	李爱英;杨志兵

摘要

本发明提供一种基于横向剪切干涉的扩束准直系统波面像差检测装置，包括一维位相光栅、调节单元、光电探测单元、存储单元以及信号处理单元；其中，一维位相光栅和光电探测单元依次设于扩束准直系统出射光束的光路上，且一维位相光栅位于扩束准直系统和光电探测单元之间；一维位相光栅上两相邻透光部分之间的非透光部分的宽度为p/6，透光部分的宽度为p/3，p为一维位相光栅的周期；设定p≥16β，β为光电探测单元的像元尺寸。本发明检测装置可消除±3级及±3的倍级衍射光的影响，所形成的干涉波光的能量主要集中在±1级衍射光波中，消除了其他倍数级衍射光波对波面像差检测的影响，从而提高了检测精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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