一种带水冷的射频电极

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202120142141.2
IPC分类号：H01J1/02;H01J7/24;H01J27/08;H01J37/32
申请日期：
2021-01-19
申请人：
东莞高田光学科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	一种带水冷的射频电极
申请号	CN202120142141.2	申请日期	2021-01-19
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J1/02 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J1/00 电极的、磁控装置的、屏的零部件及其设置或间隔，通用于两种以上基本类型的放电管或灯的零部件（电子光学装置的零部件或离子阱的零部件入H01J 3/00） H01J1/02 主电极	IPC分类号	H;0;1;J;1;/;0;2;;;H;0;1;J;7;/;2;4;;;H;0;1;J;2;7;/;0;8;;;H;0;1;J;3;7;/;3;2查看分类表>
申请人	东莞高田光学科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市清溪镇谢坑村光辉高新技术产业园B栋一楼102号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞高田光学科技有限公司	当前权利人	东莞高田光学科技有限公司
发明人	周柯;肖映都
代理机构	北京科家知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张勋

摘要

本实用新型公开了一种带水冷的射频电极，包括结构主体，所述结构主体包括外壳及安装座，所述外壳与所述安装座连接，所述安装座底部设有第一接线柱安装部及第二接线柱安装部，所述安装座包括设于所述安装座前端的真空法兰以及设于所述安装座内部的射频连接器及地线连接器，且所述安装座还设有至少一组连接卡套，所述真空法兰穿设有射频传输铜管，所述射频传输铜管外侧包覆有陶瓷绝缘套，并且所述射频传输铜管与所述射频连接器、地线连接器相接触，本实用新型采用铜管陶瓷钎焊的方式接入真空室，铜管在真空室内部和射频天线连接，真空室外部和绝缘循环水连接，实现射频功率的传输的同时，又能保证射频天线不会因热损耗造成温度过高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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