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位置测量装置和方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200910194433.4
IPC分类号：G01B11/00;G01B11/02;G01B11/26
申请日期：
2009-08-21
申请人：
上海微电子装备有限公司

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	位置测量装置和方法
申请号	CN200910194433.4	申请日期	2009-08-21
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2010-01-27	公开/公告号	CN101634545
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;0;0;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2;;;G;0;1;B;1;1;/;2;6查看分类表>
申请人	上海微电子装备有限公司	申请人地址	上海市张江高科技园区张东路1525号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海微电子装备有限公司	当前权利人	上海微电子装备有限公司
发明人	张冲;李志丹
代理机构	上海思微知识产权代理事务所	代理人	屈蘅;李时云

摘要

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