用于晶元清洗的多孔喷嘴

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202023089356.7
IPC分类号：B05B1/16;B05B12/04;B08B3/02;B08B13/00
申请日期：
2020-12-18
申请人：
深圳双十科技有限公司

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著录项信息

专利名称	用于晶元清洗的多孔喷嘴
申请号	CN202023089356.7	申请日期	2020-12-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B05B1/16 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B05 一般喷射或雾化；对表面涂覆液体或其他流体的一般方法〔2〕 B05B 喷射装置；雾化装置；喷嘴（有喷嘴的喷射混合机入B01F 5/20；用喷射使液体或其他流体涂布于表面的方法入B05D）〔2〕 B05B1/00 带或不带辅助装置，例如阀、加热装置的喷嘴、喷头或其他出口（B05B 3/00，B05B 5/00，B05B 7/00优先；用接触使液体或其他流体物料涂布于表面的装置入B05C；喷墨印刷机的喷嘴入B41J 2/135；用于液体扩散的喷嘴如车辆服务站中的入B67D 7/42） B05B1/14 有多个出口孔（B05B 1/02，B05B 1/26优先）；在出口孔内或出口孔外装有过滤器 B05B1/16 具有选择效应的出口	IPC分类号	B;0;5;B;1;/;1;6;;;B;0;5;B;1;2;/;0;4;;;B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0查看分类表>
申请人	深圳双十科技有限公司	申请人地址	广东省深圳市龙岗区平湖街道平安大道33号3栋变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	深圳双十科技有限公司	当前权利人	深圳双十科技有限公司
发明人	王仕初;刘涛;蔡真
代理机构	深圳市鼎泰正和知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	缪太清

摘要

本实用新型公开了一种用于晶元清洗的多孔喷嘴，包括机架主体和设置于机架主体上的清洗槽，清洗槽一侧设有多喷头组件，多喷头组件包括伺服电机和通过伺服电机驱动的转轴，转轴上端连接有传动杆，传动杆垂直方向一侧连接有连接杆，连接杆一侧垂直向下并排设有第一喷头、第二喷头和第三喷头，且第一喷头、第二喷头和第三喷头均通过管路与外部清洗剂设备连接。本实用新型解决了现有技术中的多工位多喷头会占用大量空间，且清洗步骤繁琐的问题。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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