一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法

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专利名称	一种用于分析高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法
申请号	CN201010229285.8	申请日期	2010-07-16
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-12-15	公开/公告号	CN101915811A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N30/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N30/00 利用吸附作用、吸收作用或类似现象，或者利用离子交换，例如色谱法将材料分离成各个组分，来测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 29/00优先）〔4〕 G01N30/02 柱色谱法〔4〕	IPC分类号	G;0;1;N;3;0;/;0;2;;;G;0;1;N;3;0;/;2;0查看分类表>
申请人	上海炫一电子科技有限公司	申请人地址	上海市闵行区东川路555号甲楼2006室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海炫一电子科技有限公司	当前权利人	上海炫一电子科技有限公司
发明人	郭立;张彦俊;管玉柱;丁一
代理机构	上海伯瑞杰知识产权代理有限公司	代理人	吴瑾瑜

摘要

本发明涉及气体的检测装置和方法，公开了一种分析检测高纯度非腐蚀性气体中杂质的通用装置和方法，通过阀门的切换，改变气体流向，来进行分离检测。本发明结构简单，分析过程简便快捷，可以进行在线检测；杂质组分分离效果好；同一装置可完成对多种高纯度非腐蚀性气体的分析需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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