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用于扫描探针装置的金属尖以及制造该金属尖的方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201080034638.7
IPC分类号：G01Q70/10;G01Q70/16
申请日期：
2010-08-02
申请人：
施佩克斯表面纳米分析股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	用于扫描探针装置的金属尖以及制造该金属尖的方法
申请号	CN201080034638.7	申请日期	2010-08-02
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-05-30	公开/公告号	CN102483429A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01Q70/10 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01Q 扫描探针技术或设备；扫描探针技术的应用，例如，扫描探针显微术〔SPM〕〔2010.01〕 G01Q70/00 SPM探针的一般方面，其制造或有关的使用仪器，它们不专门适用于包括在大组G01Q 60/00中的单独的SPM技术〔2010.01〕 G01Q70/08 探针特征〔2010.01〕 G01Q70/10 形状或锥度〔2010.01〕	IPC分类号	G;0;1;Q;7;0;/;1;0;;;G;0;1;Q;7;0;/;1;6查看分类表>
申请人	施佩克斯表面纳米分析股份有限公司	申请人地址	德国柏林变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	施佩克斯表面纳米分析股份有限公司	当前权利人	施佩克斯表面纳米分析股份有限公司
发明人	埃里克·莱格斯加尔德
代理机构	北京中安信知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张小娟

摘要

提供了一种用于扫描探针装置的金属尖(1)。该金属尖1具有轴向长度(1)，径向长度(d)，从最大径向长度部分(5)轴向延伸至原子级尖端(9)的尖的部分(B)，以及从最大径向长度部分(5)轴向延伸至钝的末端(7)的钝的部分(A)，其中，尖的部分(B)的轴向长度大于钝的部分(A)的轴向长度，金属尖的质量为10μg或更少。

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