一种用于清洗方形硅片的专用夹具

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202121270395.9
IPC分类号：B08B11/02
申请日期：
2021-06-08
申请人：
上海思恩装备科技股份有限公司

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著录项信息

专利名称	一种用于清洗方形硅片的专用夹具
申请号	CN202121270395.9	申请日期	2021-06-08
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B11/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B11/00 专门适用于清洁柔韧的或精致的物品的方法或装置（B08B 3/12，B08B 6/00优先）〔2〕 B08B11/02 清洁时抓住物品的装置	IPC分类号	B;0;8;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	上海思恩装备科技股份有限公司	申请人地址	上海市松江区三浜路9弄100号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海思恩装备科技股份有限公司	当前权利人	上海思恩装备科技股份有限公司
发明人	王文和;倪党生;卢刘振
代理机构	上海索源知识产权代理有限公司	代理人	安惠中

摘要

本实用新型公开了硅片加工清洗技术领域的一种用于清洗方形硅片的专用夹具，包括夹具机体、定位螺母、活动钳口与固定钳口，夹具机体，夹具机体的顶部设置有十字悬臂，十字悬臂的顶部均匀开设有倒T形槽，固定钳口设置为空心圆柱体，倒T形槽的底部均匀开设有螺纹孔，活动钳口设置于倒T形槽的上部定位螺母贯穿螺纹孔将活动钳口与固定钳口螺接固定。本实用新型通过十字悬臂、定位螺母、活动钳口、固定钳口、排液孔、螺纹孔和T形槽的配合，实现对方形硅片快速夹紧，且能够夹持不同规格的硅片，提高了方形硅片清洗作业的工作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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