筒形半导体制程用高纯多晶硅锭的制备方法及制备装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202011622914.3
IPC分类号：C30B28/06;C30B29/06
申请日期：
2020-12-31
申请人：
陈富伦

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	筒形半导体制程用高纯多晶硅锭的制备方法及制备装置
申请号	CN202011622914.3	申请日期	2020-12-31
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-28	公开/公告号	CN112853481A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B28/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B28/00 制备具有一定结构的均匀多晶材料〔5〕 C30B28/04 由液态制备〔5〕 C30B28/06 正常凝固法或温度梯度凝固法〔5〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;8;/;0;6;;;C;3;0;B;2;9;/;0;6查看分类表>
申请人	陈富伦	申请人地址	江苏省连云港市东海县平明镇太平洋工业园变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	陈富伦	当前权利人	陈富伦
发明人	陈富伦
代理机构	北京华专卓海知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	张继鑫

摘要

本发明提供了一种筒形半导体制程用高纯多晶硅锭的制备方法及制备装置，该方法包括：将制备筒形多晶硅锭所需的多晶硅原料装入到双层圆坩埚的内外层结构之间，将装有多晶硅原料的双层圆坩埚放入铸锭炉；对铸锭炉抽真空，打开加热器加热，直到多晶硅原料全部熔化成液体；使双层圆坩埚内的温度从圆坩埚底部向上逐渐上升形成温度梯度，以使熔化成液体的多晶硅原料逐渐结晶凝固；在结晶凝固完成后，通过退火冷却得到制备完成的筒形多晶硅锭。该种方案，多晶硅锭生产出来后就是筒形的，而通过筒形多晶硅锭生产相同尺寸的环状多晶硅时，投料量可以大幅度降低，同时，制备的筒形多晶硅锭的品质更好，其制备过程中，多晶硅原料的熔融时间以及能耗更低。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供