一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201510824541.0
IPC分类号：--
申请日期：
2015-11-24
申请人：
中国科学院深圳先进技术研究院

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著录项信息

专利名称	一种金刚石/类金刚石多层复合涂层及其制备方法
申请号	CN201510824541.0	申请日期	2015-11-24
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-05-31	公开/公告号	CN106756880A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	中国科学院深圳先进技术研究院	申请人地址	广东省深圳市南山区西丽大学城学苑大道1068号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院深圳先进技术研究院	当前权利人	中国科学院深圳先进技术研究院
发明人	唐永炳;蒋春磊;张静
代理机构	深圳中一专利商标事务所	代理人	张全文

摘要

本发明适用于真空镀膜技术领域，提供了一种金刚石/类金刚石多层复合涂层的制备方法，包括以下步骤：提供一基底，对所述基底进行表面预处理后装炉；真空条件下，通入甲烷并进行第一涂层过程，在所述基底表面沉积金刚石涂层；真空条件下，调整加热温度和甲烷浓度进行第二涂层过程，在所述金刚石涂层表面沉积类金刚石涂层；重复所述第一涂层过程和所述第二涂层过程，制备金刚石层和类金刚石交替沉积的多层复合结构，且得到的金刚石/类金刚石多层复合涂层的最外层为类金刚石涂层。

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