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等离子处理装置以及晶片处理方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201980015454.7
  • IPC分类号:H01L21/3065
  • 申请日期:
    2019-12-20
  • 申请人:
    株式会社日立高新技术
著录项信息
专利名称等离子处理装置以及晶片处理方法
申请号CN201980015454.7申请日期2019-12-20
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-08-20公开/公告号CN113287190A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/3065
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;3;0;6;5查看分类表>
申请人株式会社日立高新技术申请人地址
日本东京都 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人株式会社日立高新技术当前权利人株式会社日立高新技术
发明人小林浩之;关口笃史;臼井建人;江藤宗一郎;中元茂;篠田和典;三好信哉
代理机构中科专利商标代理有限责任公司代理人柯瑞京
摘要
提供使处理的成品率提升的等离子处理装置以及晶片处理方法。晶片处理方法具备如下工序:对载置在配置于处理室内的样品台的上表面的处理对象的晶片照射光或电磁波,来加热预先形成于该晶片上表面的膜层的上表面的该膜层的化合物层,从而将其去除,在所述晶片处理方法中,在所述工序中,接受由所述晶片的上表面反射的所述光或所述电磁波,对于表示该光或该电磁波的以波长为参数的强度的时间变化的信号,使用在所述样品台的所述上表面的外周侧的部位接受所述光或所述电磁波而检测到的该光或该电磁波的强度的信息进行补正,从而判定所述膜层的剩余膜厚或所述工序的终点。

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