一种三维微触觉传感器的校准方法与装置

发明专利无效专利

申请号：
CN201010136209.2
IPC分类号：G01D18/00;G01B7/00;G01B7/34;G01B11/02
申请日期：
2010-03-30
申请人：
上海市计量测试技术研究院

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著录项信息

专利名称	一种三维微触觉传感器的校准方法与装置
申请号	CN201010136209.2	申请日期	2010-03-30
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2010-08-25	公开/公告号	CN101813499A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01D18/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01D 非专用于特定变量的测量；不包含在其他单独小类中的测量两个或多个变量的装置；计费设备；非专用于特定变量的传输或转换装置；未列入其他类目的测量或测试 G01D18/00 测试或校准大组G01D 1/00至G01D 15/00中列入的设备或装置	IPC分类号	G;0;1;D;1;8;/;0;0;;;G;0;1;B;7;/;0;0;;;G;0;1;B;7;/;3;4;;;G;0;1;B;1;1;/;0;2查看分类表>
申请人	上海市计量测试技术研究院	申请人地址	上海市浦东新区张衡路1500号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海市计量测试技术研究院	当前权利人	上海市计量测试技术研究院
发明人	雷李华;王丽华;郭彤;李源
代理机构	上海浦东良风专利代理有限责任公司	代理人	陈志良

摘要

本发明为一种三维微触觉传感器的校准方法与装置，其特征在于：在隔振腔中安装三维微触觉传感器固定装置、微位移输入装置、CCD摄像头和激光干涉仪；三维微触觉传感器通过不同的夹持机构安放在旋转平台上，微位移输入装置通过控制装置实现三维微触觉传感器的Z轴粗动定位和传感器与压电陶瓷的零接触，压电陶瓷通过控制系统输出振幅信号给三维微触觉传感器施加位移约束信号，再通过信号采集系统和上机软件，建立输入——输出关系图，通过激光干涉仪的校准系统对压电陶瓷的位移约束量进行跟踪测量，实现三维微触觉传感器性能参数的测试和校准。本发明解决了多种传感方式的三维微触觉传感器的线性、量程、精度等多个性能的校准工作。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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