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一种曝光机玻璃基板表面温度稳定设备

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110115295.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2021-01-28
  • 申请人:
    江苏特纳马智能制造有限公司
著录项信息
专利名称一种曝光机玻璃基板表面温度稳定设备
申请号CN202110115295.7申请日期2021-01-28
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2021-06-01公开/公告号CN112882352A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人江苏特纳马智能制造有限公司申请人地址
江苏省苏州市相城经济技术开发区漕湖街道春兴路9号争丰产业园3号厂房 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人江苏特纳马智能制造有限公司当前权利人江苏特纳马智能制造有限公司
发明人韩永林
代理机构暂无代理人暂无
摘要
本发明公开了一种曝光机玻璃基板表面温度稳定设备,包括地板与其上方的高架地板,地板端面一侧分别设有第一电控箱、第一控制单元、第二电控箱与第二控制单元,高架地板上端分别设有第一温度控制装置与第二温度控制装置,两个温度控制装置分别通过多根回风管与第一控制单元、第二控制单元连接。本发明的有益效果:通过九组出风单元对玻璃基板进行温度控制,九组出风单元可分区域调整温度,保养成本低,而且维护的时间短,而且为了维持温度的稳定性,特别设计回风循环方式保证了温度的稳定,通过出风单元吹出后再通过回风管道进行回收再循环。

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