无扩散泵式复合膜镀膜机

发明专利无效专利

申请号：
CN201210437315.3
IPC分类号：C23C14/24;C23C14/56
申请日期：
2012-11-06
申请人：
上海宏昊企业发展有限公司

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专利名称	无扩散泵式复合膜镀膜机
申请号	CN201210437315.3	申请日期	2012-11-06
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2013-03-27	公开/公告号	CN102994957A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/24 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/24 真空蒸发〔4〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;5;6查看分类表>
申请人	上海宏昊企业发展有限公司	申请人地址	上海市奉贤区海湾旅游区奉新北路22号467室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海宏昊企业发展有限公司	当前权利人	上海宏昊企业发展有限公司
发明人	陈生贩;陈显东;江裕捺;陈生镇;陈发杰
代理机构	上海精晟知识产权代理有限公司	代理人	何新平

摘要

本发明涉及加热技术领域，具体涉及一种真空镀膜机。无扩散泵式复合膜镀膜机，包括抽真空系统、镀膜室，抽真空系统连接镀膜室为镀膜室抽取真空，抽真空系统中设有真空泵系统，真空泵采用罗茨泵系统。罗茨泵相对于传统的扩散泵，具有能耗低、性能稳定、抽真空效果好、即时启动等优点。有助于提高整个无扩散泵式复合膜镀膜机的性能稳定性，并提高镀膜质量，以及大大降低能耗。罗茨泵系统采用高真空多级罗茨泵系统，高真空多级罗茨泵系统由至少两台罗茨泵单体逐级连接构成。

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