一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110768630.3
IPC分类号：C03C11/00;C03B19/06
申请日期：
2021-07-07
申请人：
东莞市中微纳米科技有限公司

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专利名称	一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法
申请号	CN202110768630.3	申请日期	2021-07-07
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-09-10	公开/公告号	CN113372006A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C03C11/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C03 玻璃；矿棉或渣棉 C03C 玻璃、釉或搪瓷釉的化学成分；玻璃的表面处理；由玻璃、矿物或矿渣制成的纤维或细丝的表面处理；玻璃与玻璃或与其他材料的接合 C03C11/00 泡沫玻璃	IPC分类号	C;0;3;C;1;1;/;0;0;;;C;0;3;B;1;9;/;0;6查看分类表>
申请人	东莞市中微纳米科技有限公司	申请人地址	广东省东莞市大朗镇佛子凹村佛富路53号8楼变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东莞市中微纳米科技有限公司	当前权利人	东莞市中微纳米科技有限公司
发明人	田多胜
代理机构	东莞市永邦知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	毛有帮

摘要

一种用于研磨晶圆片的超精细改性聚合粉及液的制备方法，包括聚合粉的制备方法和聚合液的制备方法，本聚合液配合专用的蜂窝网格研磨垫对半导体晶圆片表面进行研磨时，在保证加工精度的同时能显著提高研磨效率，本方案中的金刚石单晶磨粒为精细研磨的磨料；通过陶瓷造孔剂在研磨颗粒上进行微观造孔，使研磨颗粒上的孔洞增多，孔洞内可以容纳更多更精细的金刚石磨粒；玻璃粉可以形成相互交错的网络，可以增加研磨的韧性，防止整块断裂；本方案制备的研磨粉体颗粒中的棱角较多，研磨效果大大增强。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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