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感光性组合物

发明专利有效专利

申请号：
CN200610129175.8
IPC分类号：G03F7/004;G03F7/027
申请日期：
2006-09-04
申请人：
东京应化工业株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	感光性组合物
申请号	CN200610129175.8	申请日期	2006-09-04
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-03-14	公开/公告号	CN1928716
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G03F7/004 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕 G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G） G03F7/00 图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L 21/00，H05K）〔3，5〕 G03F7/004 感光材料（G03F 7/12，G03F 7/14优先）〔5〕	IPC分类号	G;0;3;F;7;/;0;0;4;;;G;0;3;F;7;/;0;2;7查看分类表>
申请人	东京应化工业株式会社	申请人地址	日本神奈川变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东京应化工业株式会社	当前权利人	东京应化工业株式会社
发明人	信太胜;近藤满;内河喜代司
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	李勇

摘要

本发明提供一种可形成具有良好的直线性、难以剥离、残渣少的黑色矩阵图样图案的感光性组成组合物。作为感光性组成组合物的光聚合起始引发剂，采用具有下述通式(1)所示的芴结构和苯酰基的肟系化合物。另外，发现在将通式(1)中的苯酰基部分作为膨松基时，显影后的加热可抑制升华物的产生。

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