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一种铟锡氧化物磨球的制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010584263.7
  • IPC分类号:C04B35/457;C04B35/622;C09K3/14;B28B3/00;B28B3/12
  • 申请日期:
    2020-06-24
  • 申请人:
    中国船舶重工集团公司第七二五研究所
著录项信息
专利名称一种铟锡氧化物磨球的制备方法
申请号CN202010584263.7申请日期2020-06-24
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-10-23公开/公告号CN111807832A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C04B35/457IPC分类号C;0;4;B;3;5;/;4;5;7;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2;;;C;0;9;K;3;/;1;4;;;B;2;8;B;3;/;0;0;;;B;2;8;B;3;/;1;2查看分类表>
申请人中国船舶重工集团公司第七二五研究所申请人地址
河南省洛阳市洛龙区滨河南路169号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国船舶重工集团公司第七二五研究所当前权利人中国船舶重工集团公司第七二五研究所
发明人师琳璞;王政红;张秀勤
代理机构洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)代理人逯雪峰
摘要
一种铟锡氧化物磨球的制备方法,将氧化铟粉和氧化锡粉加入水中进行混合、研磨、造粒,得到造粒粉,氧化铟粉的重量比例为氧化铟粉和氧化锡粉总重量的90%‑97%;然后将造粒粉装入模具进行冷等静压处理,得到坯体,对坯体进行破碎和筛分,得到晶种;以晶种作为球坯的核心,使造粒粉和晶种进行滚制成型,得到球坯;对球坯的表面进行蜡封,然后对球坯进行冷等静压处理;再对冷等静压后的球坯进行脱脂处理,对脱脂后的球坯进行烧结,得到铟锡氧化物磨球。本发明通过滚制成型、冷等静压、烧结相配合的方法得到密度高、晶粒小的铟锡氧化物磨球,用本发明的磨球制备得到的ITO靶材密度大于7.12g/cm3,纯度大于99.99%,能够满足ITO靶材制备的研磨需要。

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