加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201320772152.4
  • IPC分类号:H01L31/18
  • 申请日期:
    2013-11-28
  • 申请人:
    中国科学院上海硅酸盐研究所
著录项信息
专利名称用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备
申请号CN201320772152.4申请日期2013-11-28
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L31/18IPC分类号H;0;1;L;3;1;/;1;8查看分类表>
申请人中国科学院上海硅酸盐研究所申请人地址
山东省济宁市济宁经济开发区疃里镇嘉诚路与呈祥大道交汇处圣祥小镇 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东中科泰阳光电科技有限公司当前权利人山东中科泰阳光电科技有限公司
发明人黄富强;朱小龙;王耀明;李爱民;秦明升;张雷;刘战强;谢宜桉
代理机构上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙)代理人曹芳玲;郑优丽
摘要
本实用新型涉及一种用于制备黄铜矿型薄膜太阳电池吸收层的退火设备,包括:连续补料单元,其包括硫族介质发生装置和与该装置连通的载气供给通路,硫族介质发生装置包括硫族介质源以及加热硫族介质源的加热单元,硫族介质包括硫和/或硒,载气供给通路利用其中的载气使蒸发态硫族介质沿着载气流动方向行进;与载气供给通路连通的等离子体产生活化单元;以及与等离子体产生活化单元连通的硒化/硫化退火单元,硫族元素等离子体进入硒化/硫化退火单元并与位于其中的预制膜反应进行硒化/硫化退火。本实用新型的退火设备可以增加硒硫粒子化学活性,辅助增强其硒硫化作用,加快硒化、硫化的速度,提高黄铜矿型薄膜成膜质量。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供