基于联邦个性化学习的光刻热区检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110545686.2
IPC分类号：G06K9/62;G06N3/04;G06N3/08
申请日期：
2021-05-19
申请人：
浙江大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基于联邦个性化学习的光刻热区检测方法
申请号	CN202110545686.2	申请日期	2021-05-19
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-08-06	公开/公告号	CN113222031A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06K9/62 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06K 数据识别；数据表示；记录载体；记录载体的处理（印刷本身入B41J） G06K9/00 用于阅读或识别印刷或书写字符或者用于识别图形，例如，指纹的方法或装置（用于图表阅读或者将诸如力或现状态的机械参量的图形转换为电信号的方法或装置入G06K 11/00；语音识别入G10L 15/00）〔1，7〕 G06K9/62 应用电子设备进行识别的方法或装置〔3〕	IPC分类号	G;0;6;K;9;/;6;2;;;G;0;6;N;3;/;0;4;;;G;0;6;N;3;/;0;8查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	卓成;林学忠;徐金明;孟文超;朱建新;黄炎;朱泽晗
代理机构	杭州求是专利事务所有限公司	代理人	刘静

摘要

本发明公开了一种基于联邦个性化学习的光刻热区检测方法，中心服务器聚合每个节点返回的全局模型参数，用于融合每个节点的共同特征，更新全局模型参数，再把最新的全局模型参数反馈到每个节点；每个节点从中心服务器下载全局模型参数，然后利用本地数据训练局部模型参数，以找到当前全局模型参数下局部模型参数的最优，用于克服不同节点的模型异构和数据异构；局部模型参数微调之后，节点利用本地数据训练全部参数，以找到当前参数的最优，用于寻找不同节点的共同特征。本发明解决了局部数据过少而产生的模型过拟合问题；保护各芯片设计厂商之间的数据，实现隐私保护；提高了异构环境中联邦个性化学习模型的稳定性和整体精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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