首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

具有防着管的等离子体处理装置

发明专利无效专利

申请号：
CN200310124676.3
IPC分类号：--
申请日期：
2003-12-17
申请人：
松下电器产业株式会社

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	具有防着管的等离子体处理装置
申请号	CN200310124676.3	申请日期	2003-12-17
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2004-07-14	公开/公告号	CN1511972
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	松下电器产业株式会社	申请人地址	日本大阪府门真市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	松下电器产业株式会社	当前权利人	松下电器产业株式会社
发明人	本城文兼;长谷川和纪;奥西广树
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	温大鹏;杨松龄

摘要

一种等离子体处理装置，具有由电子回旋加速器共振生成等离子体的等离子体室和保持由上述等离子体进行处理的试料的试料室，防着管防止上述等离子体的生成物附着在上述等离子体室的内壁上，根据上述等离子体发生时的温度分布，将防着管分割成多个部分防着管。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供