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一种柔性电子功能材料及其制备方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201711118044.4
  • IPC分类号:H01L21/762;H01L27/12
  • 申请日期:
    2017-11-13
  • 申请人:
    苏州科技大学
著录项信息
专利名称一种柔性电子功能材料及其制备方法
申请号CN201711118044.4申请日期2017-11-13
法律状态驳回申报国家中国
公开/公告日2018-05-04公开/公告号CN107993972A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/762IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;7;6;2;;;H;0;1;L;2;7;/;1;2查看分类表>
申请人苏州科技大学申请人地址
江苏省苏州市苏州高新区科锐路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人苏州科技大学当前权利人苏州科技大学
发明人姜昱丞;王彬;赵润;刘国珍;高炬
代理机构苏州创元专利商标事务所有限公司代理人陶海锋
摘要
本发明公开了一种柔性电子功能材料及其制备方法。以硅片为衬底,在衬底上生长氧化层为牺牲层;采用化学或物理的方法,在牺牲层上生长功能性薄膜材料;将柔性衬底粘贴于功能性薄膜表面,再采用酸腐蚀方法将牺牲层腐蚀后,得到一种柔性电子功能材料。本发明针对现有的柔性电子功能材料制备工艺无法在高温条件下实现,以及某些功能材料不能制备成柔性器件的不足,采用先制备牺牲层,并在高温等苛刻条件下生长所需要的功能层,再利用腐蚀剥离的方法,得到一种既有良好的柔韧特性,又能具备所需功能的柔性电子材料,具有原材料价格低廉,制备工艺简单、环保的特点。

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