制备新型宽能隙P型SiOH微晶太阳能薄膜电池

发明专利无效专利

申请号：
CN201210056548.9
IPC分类号：H01L31/18;C23C16/44
申请日期：
2012-03-06
申请人：
吉富新能源科技（上海）有限公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	制备新型宽能隙P型SiOH微晶太阳能薄膜电池
申请号	CN201210056548.9	申请日期	2012-03-06
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2013-09-18	公开/公告号	CN103311359A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L31/18 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L31/058 （转入H01L 31/0525，H02S 40/44） H01L31/18 专门适用于制造或处理这些器件或其部件的方法或设备〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;3;1;/;1;8;;;C;2;3;C;1;6;/;4;4查看分类表>
申请人	吉富新能源科技（上海）有限公司	申请人地址	上海市青浦区北青公路8228号3区8号4幢变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	吉富新能源科技（上海）有限公司	当前权利人	吉富新能源科技（上海）有限公司
发明人	戴嘉男;刘幼海;刘吉人
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明主要目的是制备新型宽能隙P型SiOH微晶太阳能薄膜电池。其是在PECVD腔体进行制程，将TCO玻璃放入到PECVD腔体内，随后制作本发明宽能隙P型半导体，其使用的气体是SiH4,H2,TMB及CO2，主要使用CO2就是可以提升其能隙，接着固定腔体的温度，调整其气体总流量、制程压力，及电极与玻璃间距与RF功率等参数，来制作出宽能隙的P型SixOx:H微晶半导体，因为添加CO2除了可以提升能隙之外，其也会让P型半导体从微晶转成非晶相，因此，在添加CO2过程中也需要控制TMB与SiH4的含量，才能够控制其保持微晶相，如此可以让微晶半导体可以吸收更多的红外光，且可以提升其微晶的电压，且因为吸收更多红外光，可以让后续镀膜的I型微晶半导体可以吸收较多红外光源，并且可以提升电流，在完成前两层镀膜后，再镀上N型微晶半导体，可以让电子电动流动顺畅，如此即完成此制程，最后镀上背电极及后续制程，即可以得到高效率的电压,电流以及转换效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供