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等离子体清洁装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201920829877.X
  • IPC分类号:B08B7/00
  • 申请日期:
    2019-06-03
  • 申请人:
    中国科学院深圳先进技术研究院
著录项信息
专利名称等离子体清洁装置
申请号CN201920829877.X申请日期2019-06-03
法律状态授权申报国家暂无
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B08B7/00IPC分类号B;0;8;B;7;/;0;0查看分类表>
申请人中国科学院深圳先进技术研究院申请人地址
广东省深圳市南山区深圳大学城学苑大道1068号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国科学院深圳先进技术研究院当前权利人中国科学院深圳先进技术研究院
发明人黄逸凡;江敏;高明;王永刚;易志健
代理机构北京市诚辉律师事务所代理人耿慧敏
摘要
本实用新型涉及清洁装置领域,公开了等离子体清洁装置,包括用于握持的握持部,以及与握持部连接且用于产生低温等离子体的工作部,工作部包括第一电极、第二电极与介质层,第一电极与第二电极之间通过介质层进行分隔。本实用新型结构简单,体积小,操作便捷,可以手持使用,适合于实验室环境、家庭环境以及各类小体积产品的清洗。

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