抛光垫清洗装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201922496223.2
IPC分类号：B24B37/34;B24B55/06
申请日期：
2019-12-31
申请人：
浙江芯晖装备技术有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	抛光垫清洗装置
申请号	CN201922496223.2	申请日期	2019-12-31
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B24B37/34 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B24 磨削；抛光 B24B 用于磨削或抛光的机床、装置或工艺（用电蚀入B23H；磨料或有关喷射入B24C；电解浸蚀或电解抛光入C25F 3/00）；磨具磨损表面的修理或调节；磨削，抛光剂或研磨剂的进给 B24B37/00 研磨机床或装置；附件（B24B 3/00优先） B24B37/34 附件〔2012.01〕	IPC分类号	B;2;4;B;3;7;/;3;4;;;B;2;4;B;5;5;/;0;6查看分类表>
申请人	浙江芯晖装备技术有限公司	申请人地址	浙江省嘉兴市海宁市海宁大道8号海宁科技绿洲1号楼105室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江芯晖装备技术有限公司	当前权利人	浙江芯晖装备技术有限公司
发明人	杨兆明;颜凯;中原司
代理机构	北京三友知识产权代理有限公司	代理人	韩嫚嫚;赵燕力

摘要

本实用新型为一种抛光垫清洗装置，包括毛刷结构，毛刷结构包括能周向旋转的盘面毛刷，盘面毛刷用于抵靠接触且旋转清洁抛光垫；盘面毛刷安装于毛刷臂上，毛刷臂的一端连接升降部上，升降部上设置能驱动毛刷臂在水平方向上摆动和能驱动盘面毛刷周向旋转的旋转驱动部；盘面毛刷的一侧设置压力清洗结构，压力清洗结构用于修复抛光垫；抛光垫清洗装置还包括控制部，控制部用于盘面毛刷旋转状态、毛刷臂旋转状态、升降部升降状态和压力清洗结构清洗状态的控制。该装置能利用盘面毛刷冲洗清洁、保湿抛光垫，利用压力清洗结构修整抛光垫，防止抛光垫脏污和磨损造成新硅片的损伤。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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