多波长共焦测量装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201910521095.4
IPC分类号：G01B11/02G01B11/06G01J3/50
申请日期：
2015-06-23
申请人：
株式会社基恩士

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著录项信息

专利名称	多波长共焦测量装置
申请号	CN201910521095.4	申请日期	2015-06-23
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-09-03	公开/公告号	CN110196020A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/02 用于计量长度、宽度或厚度（G01B 11/08优先）	IPC分类号	G01B11/02;G01B11/06;G01J3/50查看分类表>
申请人	株式会社基恩士	申请人地址	日本*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	株式会社基恩士	当前权利人	株式会社基恩士
发明人	久我翔马
代理机构	北京天昊联合知识产权代理有限公司	代理人	顾红霞;张芸

摘要

[技术问题]提供一种能够使用诸如白光等多波长光高精度地测量测量对象的诸如厚度、距离、位移或颜色等特征值的多波长共焦测量装置。[技术方案]装置设置有：激光光源；荧光体，其由激光激发；第一光学聚光器，其构造为朝向荧光体会聚激光；第二光学聚光器，构造为朝向第一位置会聚多波长光；光纤单元，其限定共同光路、经由分光器与共同光路耦合的第一光路以及经由分光器与共同光路耦合的第二光路；头部光学聚光器，其构造为朝向测量对象会聚多波长光；光学头，其具有第一透镜；光接收元件；测量控制器，其基于表示与来自光接收元件的波长对应的光接收量的信号测量测量对象的厚度或位移。