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一种可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列及其制备方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201911228375.2
  • IPC分类号:H01L27/146
  • 申请日期:
    2019-12-04
  • 申请人:
    暨南大学
著录项信息
专利名称一种可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列及其制备方法
申请号CN201911228375.2申请日期2019-12-04
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-05-08公开/公告号CN111129050A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L27/146IPC分类号H;0;1;L;2;7;/;1;4;6查看分类表>
申请人暨南大学申请人地址
广东省广州市天河区黄埔大道西601号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人暨南大学当前权利人暨南大学
发明人张军;高丹
代理机构广州润禾知识产权代理事务所(普通合伙)代理人郑永泉;张柳
摘要
本发明公开了一种可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列及其制备方法,所述可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列包括芯片和集成在芯片中SiO2层上的3×3红绿蓝三色PIN光电二极管阵列,所述红绿蓝三色PIN光电二极管阵列y轴方向依次按照绿光光电二极管、红光光电二极管、蓝光光电二极管排列,x轴方向为单色光电二极管。本发明所述的可见光通信的超薄高效三色PIN光电二极管阵列通过将三种颜色的光电二极管集成在同一芯片上,同时三色PIN光电二极管的厚度一致且很薄,本发明的结构增强了器件的集成度,减小了器件体积;提高了器件的响应带宽及量子效率。

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