加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

非晶碳膜的分子层沉积

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110253002.1
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/56
  • 申请日期:
    2021-03-08
  • 申请人:
    应用材料公司;新加坡国立大学
著录项信息
专利名称非晶碳膜的分子层沉积
申请号CN202110253002.1申请日期2021-03-08
法律状态公开申报国家中国
公开/公告日2021-09-10公开/公告号CN113373429A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;5;6查看分类表>
申请人应用材料公司;新加坡国立大学申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人应用材料公司,新加坡国立大学当前权利人应用材料公司,新加坡国立大学
发明人巴斯卡尔·乔蒂·布雅;马克·沙丽;阿布海杰特·巴苏·马利克;尤金·于金·空;齐波
代理机构北京律诚同业知识产权代理有限公司代理人徐金国;赵静
摘要
披露了形成碳聚合物膜的方法。一些方法有利地在较低温度下执行。将基板暴露于第一碳前驱物以基于第一碳前驱物的反应性官能团形成具有封端的基板表面,以及暴露于第二碳前驱物以与表面封端反应并形成碳聚合物膜。还披露了执行工艺的处理工具和非暂时性存储器。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供