棒-针状纳米氧化锌阵列及其制备方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201110041062.3
IPC分类号：C25D9/08;C23C14/24;C23C14/18;B82Y30/00;B82Y40/00
申请日期：
2011-02-18
申请人：
中国科学院合肥物质科学研究院

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专利名称	棒-针状纳米氧化锌阵列及其制备方法
申请号	CN201110041062.3	申请日期	2011-02-18
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日	2012-08-22	公开/公告号	CN102644100A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C25D9/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C25 电解或电泳工艺；其所用设备〔4〕 C25D 覆层的电解或电泳生产工艺方法；电铸（印刷电路的金属沉积法制造入H05K 3/18）；工件的电解法接合；所用的装置（阳极或阴极保护入 C23F13/00；单晶生长入C30B）〔2，6〕 C25D9/00 非金属电镀层（C25D 11/00、C25D 15/00优先；电泳覆层入C25D 13/00）〔2〕 C25D9/04 无机材料的〔2〕 C25D9/08 用阴极工艺方法〔2〕	IPC分类号	C;2;5;D;9;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;2;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;8;;;B;8;2;Y;3;0;/;0;0;;;B;8;2;Y;4;0;/;0;0查看分类表>
申请人	中国科学院合肥物质科学研究院	申请人地址	安徽省合肥市1110信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院合肥物质科学研究院	当前权利人	中国科学院合肥物质科学研究院
发明人	朱燕琴;费广涛;张尧;陈晓萌
代理机构	合肥和瑞知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	任岗生;王挺

摘要

本发明公开了一种棒-针状纳米氧化锌阵列及其制备方法。阵列由硅片上置有其端部依次连接有纳米氧化锌针和金颗粒的纳米氧化锌棒组成，其中，纳米氧化锌棒的棒长为8～10μm、棒直径为440～1020nm，纳米氧化锌针的针长为180～1865nm、针直径为70～120nm，纳米金颗粒的粒径为50～85nm；方法为先将硅片置于六水合硝酸锌溶液中，以其为阴极、锌片为阳极电沉积至少3h，再将其于氩气氛中490～510℃下退火至少1h，得到带有晶化了的纳米氧化锌棒阵列的硅片，接着，先于带有晶化了的纳米氧化锌棒阵列的硅片的表面蒸镀一层2～3nm的金膜，再将其与硫化锌粉末一起置于氩气氛中，依次分别于850～950℃下保温至少30min、1000～1100℃下反应至少5min，制得目标产物。它可广泛用于场发射领域。

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