一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201720766971.6
IPC分类号：G01P15/093;G01P1/02
申请日期：
2017-06-28
申请人：
华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）

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专利名称	一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计
申请号	CN201720766971.6	申请日期	2017-06-28
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01P15/093 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01P 线速度或角速度、加速度、减速度或冲击的测量；运动的存在或不存在的指示；运动的方向的指示（利用陀螺效应测量角速率入G01C 19/00；用于测量两个或多个运动变量的组合测量设备入G01C 23/00；声速测量入G01H 5/00；光速测量入G01J 7/00；通过无线电波或其他波的反射或再辐射，且基于传播效应（例如多普勒效应）、传播时间或传播方向来测量固体物体的方向或速度入G01S；核辐射速度的测量入G01T） G01P15/00 测量加速度；测量减速度；测量冲击即加速度的突变 G01P15/02 利用惯性力（G01P 15/14优先）〔1，7，2013.01〕 G01P15/08 用变换成电或磁量 G01P15/093 采用光电法取样〔7〕	IPC分类号	G;0;1;P;1;5;/;0;9;3;;;G;0;1;P;1;/;0;2查看分类表>
申请人	华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）	申请人地址	湖北省武汉市江夏区阳光大道717号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）	当前权利人	华中光电技术研究所（中国船舶重工集团公司第七一七研究所）
发明人	耿安兵;姚远;卢乾波;郭劼;王海涛;董亭亭;白剑
代理机构	湖北武汉永嘉专利代理有限公司	代理人	许美红

摘要

本实用新型涉及一种基于微纳光腔的超高精度单轴光学加速度计，包括微纳光腔组件和激光探测组件，微纳光腔组件包括压电薄膜、微机械放大器、微纳光栅和引线，激光探测组件包括激光器、衰减片、衍射光探测器、基础光探测器、环境光探测器、偏振片、四分之一波片和分光镜，激光器发出激光束分为两束激光，一束激光射入基础光探测器，另一束激光入射到微纳光栅上并且其中一部分激光发生反射式衍射、另一部分激光透过衍射光栅被微机械放大器上表面的高反膜反射再次通过衍射光栅发生透射式衍射，两种衍射光束发生干涉形成光强与微机械放大器的敏感质量块的位移相关的光斑并被倾斜的衍射光探测器探测。该加速度计能超高加速度‑位移转换，抑制了串扰，灵敏度高。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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